СЕРИЯ SEMI
SEMI T с демпфером пульсации
SEMI H
SEMI E
SEMI SНасосы SEMI серии DMS были разработаны специально для полупроводниковой промышленности. Весь процесс сборки этих уникальных насосов производится в особо чистом помещении класса 100 с двойной очисткой деталей, тестированием на деионизированной воде и, наконец, герметичной упаковкой в пластиковую пленку.
Все части насосов серии SEMI T и SEMI Н, контактирующие с жидкостью, выполнены из PTFE и TFM. Корпус насосов серии SEMI E, контактирующий с жидкостью, выполнен из UPPE (ультра-чистого полиэтилена).
Все части насосов серии SEMI T и SEMI Н, контактирующие с жидкостью, выполнены из PTFE и TFM. Корпус насосов серии SEMI E, контактирующий с жидкостью, выполнен из UPPE (ультра-чистого полиэтилена).
Конструктивные особенности:
полностью отсутствуют металлические части
полностью отсутствуют уплотнительные кольца из эластомеров
воздушный распределительный механизм не нуждается в смазке
сборка в особо чистом помещении класса 100, испытаны на
деионизированной воде и герметично упакованные
мембраны (диафрагмы) изготовлены из TFM с увеличенным сроком
службы
четыре варианта материалов с максимальной рабочей температурой
200°C
изготовлены из очень прочных материалов на прецизионном
оборудовании
в качестве опций доступны демпферы пульсации, датчики утечек,
электронный / пневматический контроль и мониторинг
очень легкий ремонт
| МОДЕЛЬ | ТИПОРАЗМЕР | МАТЕРИАЛЫ | ПРИМЕР ПЕРЕКАЧИВАЕМОГО ПРОДУКТА | |
|---|---|---|---|---|
| ЦЕНТР.БЛОК | КОРПУС | |||
| SEMI T | 10, 20, 50, 100 | TFM/PTFE | UPPE | кислоты и каустическая сода |
| SEMI H | 10, 20 | TFM/PTFE | PTFE | кислоты и каустическая сода с высокой температурой |
| SEMI E | 10, 20, 50, 100 | UPPE | UPPE | агрессивные суспензии и растворы |
| SEMI S | 20, 50 | AISI 316L | PTFE токопроводный | растворители |
| A | B | C | D | E | F | G | H | I | K | L | M | N | O | Q | R | S | T | U | V | W | X | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SEMI 10 | 184 | 112 | 72 | 28 | 10,5 | 95 | 145 | 114 | 57 | 133 | 68 | 79,5 | 37 | 105 | 155 | 155 | 36 | 33 | 245 | 3/8'' NPT | 1/4'' NPT | 3/8'' |
| SEMI 20 | 207 | 109 | 98 | 35 | 10,5 | 109 | 163 | 154 | 75 | 172 | 91 | 115 | 32 | 139 | 200 | 163 | 46 | 110 | 287 | 1/2'' NPT | 1/4'' NPT | 1/2'' |
| SEMI 50 | 255 | 157 | 98 | 46 | 19 | 113 | 195 | 207 | 104 | 215 | 110 | 165 | 33 | 177 | 258 | 224 | 59 | 150 | 346 | 1'' NPT | 1/4'' NPT | 1'' |
| SEMI 100 | 315 | 196 | 119 | 57 | 19 | 138 | 238 | 269 | 135 | 267 | 138 | 225 | 39 | 223 | 322 | 298 | 80 | 213 | 428 | 1 1/4'' NPT | 1/4'' NPT | 1 1/4'' |
| W - штуцер сжатого воздуха P = 1/4'' NPT - штуцер для подключения пневматического счетчика тактов X - присоединение всасывающего и напорного трубопроводов стандарта FLARETEK© |
||||||||||||||||||||||
| МОДЕЛЬ / ДАВЛЕНИЕ ПОДАВАЕМОГО СЖАТОГО ВОЗДУХА | 6 бар | 5 бар | 4 бар | 3 бар | 2 бар |
|---|---|---|---|---|---|
| SEMI T | 100°С | 110°С | 120°С | 130°С | 130°С |
| SEMI H | 100°С | 130°С | 150°С | 180°С | 200°С |
| SEMI E | 70°С | 70°С | 70°С | 70°С | 70°С |
| SEMI S | 130°С | 130°С | 130°С | 130°С | 130°С |
