СЕРИЯ SEMI

SEMI T с демпфером пульсации
SEMI H
SEMI E
SEMI S
Насосы SEMI серии DMS были разработаны специально для полупроводниковой промышленности. Весь процесс сборки этих уникальных насосов производится в особо чистом помещении класса 100 с двойной очисткой деталей, тестированием на деионизированной воде и, наконец, герметичной упаковкой в пластиковую пленку.
Все части насосов серии SEMI T и SEMI Н, контактирующие с жидкостью, выполнены из PTFE и TFM. Корпус насосов серии SEMI E, контактирующий с жидкостью, выполнен из UPPE (ультра-чистого полиэтилена).

Конструктивные особенности:
полностью отсутствуют металлические части
полностью отсутствуют уплотнительные кольца из эластомеров
воздушный распределительный механизм не нуждается в смазке
сборка в особо чистом помещении класса 100, испытаны на
деионизированной воде и герметично упакованные
мембраны (диафрагмы) изготовлены из TFM с увеличенным сроком
службы



четыре варианта материалов с максимальной рабочей температурой
200°C
изготовлены из очень прочных материалов на прецизионном
оборудовании
в качестве опций доступны демпферы пульсации, датчики утечек,
электронный / пневматический контроль и мониторинг
очень легкий ремонт

МОДЕЛЬТИПОРАЗМЕРМАТЕРИАЛЫПРИМЕР ПЕРЕКАЧИВАЕМОГО ПРОДУКТА
ЦЕНТР.БЛОККОРПУС
SEMI T10, 20, 50, 100TFM/PTFEUPPEкислоты и каустическая сода
SEMI H10, 20TFM/PTFEPTFEкислоты и каустическая сода с высокой температурой
SEMI E10, 20, 50, 100UPPEUPPEагрессивные суспензии и растворы
SEMI S20, 50AISI 316LPTFE токопроводныйрастворители
ммABCDEFGHIKLMNOQRSTUVWX
SEMI 10184112722810,595145114571336879,53710515515536332453/8'' NPT1/4'' NPT3/8''
SEMI 20207109983510,5109163154751729111532139200163461102871/2'' NPT1/4'' NPT1/2''
SEMI 5025515798461911319520710421511016533177258224591503461'' NPT1/4'' NPT1''
SEMI 100315196119571913823826913526713822539223322298802134281 1/4'' NPT1/4'' NPT1 1/4''
W - штуцер сжатого воздуха
P = 1/4'' NPT - штуцер для подключения пневматического счетчика тактов
X - присоединение всасывающего и напорного трубопроводов стандарта FLARETEK©
МОДЕЛЬ / ДАВЛЕНИЕ ПОДАВАЕМОГО СЖАТОГО ВОЗДУХА6 бар5 бар4 бар3 бар2 бар
 SEMI T100°С110°С120°С130°С130°С
 SEMI H100°С130°С150°С180°С200°С
 SEMI E70°С70°С70°С70°С70°С
 SEMI S130°С130°С130°С130°С130°С